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電子探針X射線顯微分析儀

???發布時間:2015-11-29 09:32?|關鍵詞:電子,探針,射線,顯微,分析儀,即,運用,電子所, |瀏覽次數:?|?來源:中化所



即運用電子所形成的探測針(細電子束)作為X射線的激發源,來進行顯微X射線光譜分析?;驹硎请娮邮涍^電子光學系統如靜電或電磁透鏡聚焦到樣品中約1平方微米的區域,樣品經電子束的轟擊,輻射出X射線;通過X射線譜儀,對待測元素X射線譜的波長和強度進行測量,逐點地定性和定量分析。通過電子掃描同步系統和電子顯示,可使樣品中各種組成的分布情況,以放大的圖像直接顯示于熒光屏上。因此,電子探針X射線顯微分析儀是礦物研究工作中既能微觀觀察,又能同時分析微區成分的精密儀器。
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